1. 金属靶：钛靶，铬靶、锆靶、镍靶、铜靶、不锈钢靶、硅靶、氧化铌靶、氧化钛靶、铝 靶、金靶、银靶、钯靶、铂靶、锡靶、钨靶、铌靶、钒靶、钼靶、镁靶、铋靶

2. 合金靶材：

1) 钛铝 合金靶材 (67:33,50:50，70:30,80:20，at%)

2) 钨钛 合金靶材 (90:10，95:5wt%),

3) 镍钒 合金靶材 (93:7,wt%)

4) 镍铬 合金靶材 (80:20, 70:30,95:5wt%),

5) 铝铬 合金靶材 (70:30,50:50at%)

6) 钛锆 合金靶材 (50:50wt%）

7) 硅铝 合金靶材 (90:10,95:5,98:2,70:30,wt%)

8) 锌铝 合金靶材

9) 银合金

10)金合金靶材 (70:30, 50:50，67:33，at%)

11) 镍铜合金靶材 (70:30,80:20,wt%)

12)钼铌 合金靶材

13)钛硅 合金靶材

14)钛铝硅 合金靶材 (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10 ,wt% and at%)

15)铬铝硅 合金靶材 (Cr/Al/Si